在納米顯微測量領(lǐng)域，中圖儀器基于納米傳動與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)、共聚焦測量等技術(shù)積累，推出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的白光干涉儀（Z向分辨率可高達0.1納米）和共聚焦顯微鏡，廣泛應(yīng)用于半導體、3C電子、高?？蒲械刃袠I(yè)領(lǐng)域。

從納米到宏觀，產(chǎn)品解決方案全面覆蓋，滿足多樣化需求：

1、光學3D表面輪廓儀

SuperView W系列光學3D表面輪廓儀利用白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，能夠?qū)Ω鞣N精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

典型應(yīng)用：

2、共聚焦顯微鏡

VT6000系列共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。

典型應(yīng)用：

3、臺階儀

CP系列臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù)，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。

典型應(yīng)用：

中圖儀器以深厚的技術(shù)積累、創(chuàng)新的產(chǎn)品解決方案和全球化的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，為全球客戶提供精準、可靠的測量產(chǎn)品和服務(wù)。未來公司將不斷推動科技創(chuàng)新，繼續(xù)在精密測量領(lǐng)域發(fā)揮領(lǐng)導作用，助力科技進步和工業(yè)發(fā)展。