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SuperViewW國產(chǎn)3D光學(xué)表面輪廓儀結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，從而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SJ5800產(chǎn)品素線形狀輪廓掃描測量儀高精度衍射光柵傳感器，具有12mm的粗糙度測量范圍，分辨率達到1nm，一次測量同時評定輪廓和粗糙度參數(shù)。

SJ5800零部件表面粗糙度輪廓測量儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度檢測。

中圖儀器國產(chǎn)3d輪廓測量儀SuperViewW系列以白光干涉技術(shù)為原理，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SJ5800臺式粗糙度輪廓儀一體機輪廓和粗糙度一體測量，無需切換模塊。它具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，專業(yè)測試軸承內(nèi)外側(cè)?？蛇x專業(yè)軸承夾具和滾子分析，方便測試。

SuperViewW白光三維光學(xué)輪廓測量儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。