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中圖光學(xué)3D表面形貌輪廓儀SuperViewW1基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器SJ5800表面粗糙度輪廓形狀測量儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量。

SJ5800輪廓粗糙度一體測量儀具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，分辨率高達到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm。輪廓和粗糙度一體測量，無需切換模塊.可以對零件表面，尤其是大范圍曲面，如圓弧面和球面、異型曲面等進行檢測，是大曲面測量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子）領(lǐng)域精細粗糙度測量的利器。

粗糙度輪廓儀中圖儀器SJ5800系列采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，可以對零件表面，對于復(fù)雜的工件，對工件任意位置進行分段測量，并做成模板便于輪廓批量測量。

中圖儀器SuperViewW1白光三維輪廓測量儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣。

SJ5800粗糙度輪廓測量復(fù)合機采用超高精度納米衍射光學(xué)轉(zhuǎn)軸測量系統(tǒng)及高精度直線光柵，具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，專業(yè)測試軸承內(nèi)外側(cè)。分辨率高達到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm，輪廓和粗糙度一體測量，無需切換模塊。