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中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備可以達(dá)到納米級(jí)的檢測(cè)精度，并快速獲得被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)?？蓮V泛應(yīng)用于汽車零部件、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高?？蒲性核阮I(lǐng)域中。

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能，將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。

SuperViewW1 玻璃表面粗糙度測(cè)量儀數(shù)秒內(nèi)即可獲得平面和曲面表面上測(cè)量所有常見的粗糙度參數(shù)。其載物臺(tái)XY行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測(cè)量范圍可達(dá)10mm，在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí)，可以選擇拼接測(cè)量（拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um）。

SJ5700S表面粗糙度測(cè)量儀器能實(shí)現(xiàn)對(duì)各種工件表面粗糙度的測(cè)量和分析。具有較大的測(cè)量量程（X軸200mm，Z軸0-450mm,Z0軸±20µm~±400µm），一次測(cè)量，可分析工件不同區(qū)域粗糙度，提高測(cè)量效率。

SJ5800粗糙度測(cè)試儀器具有12mm的粗糙度測(cè)量范圍，分辨率達(dá)到1nm，適合測(cè)量大曲面上的表面粗糙度，同時(shí)具備軸承輪廓度評(píng)價(jià)功能，是軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片等領(lǐng)域的測(cè)量利器。

W1光學(xué)3d表面輪廓儀器采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法，真實(shí)還原樣品的每一個(gè)細(xì)節(jié)，隨意翻轉(zhuǎn)縮放，都能輕松觀察、測(cè)量樣品的任意特征。