目前在檢測機床精度方面，中圖儀器研發(fā)生產的主流儀器是SJ6000激光干涉儀+WR50自動精密轉臺+MT21無線球桿儀。

SJ6000機床設備激光干涉儀品牌以干涉技術為核心，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可以輸出高精度、長期穩(wěn)定性好、抗干擾能力強的激光頻率；為保證干涉光路穩(wěn)定可靠，干涉鏡與主機分離設計，避免了干涉鏡受熱影響；且其高精度環(huán)境補償模塊，可以實現激光波長和材料的自動補償。

SJ6000激光干涉儀

搭配不同的鏡組可以實現機床定位精度、垂直度、重復定位精度、偏擺角度、直線度、平行度等幾何精度測量。

SJ6000激光干涉儀測量機床定位精度

SJ6000激光干涉儀測量機床垂直度

SJ6000激光干涉儀測量機床偏擺角度

SJ6000機床設備激光干涉儀品牌搭配WR50自動精密轉臺還可以實現機床回轉軸自動測量。

回轉軸測量原理

回轉軸測量要將WR50連接到回轉軸上，作為測角標準器。配置主要由SJ6000主機、角度鏡組、WR50自動精密轉臺、SJ6000靜態(tài)測量軟件等構成?？蓪崿F0~360°的角度測量范圍，±1''的測量精度，最高轉速為10rpm。

WR50自動精密轉臺

WR50自動精密轉臺測量機床回轉軸精度

MT21無線球桿儀是評價機床動態(tài)輪廓精度的精密儀器。

工作原理

將球桿儀的兩端分別安裝在機床的主軸與工作臺上，測量兩軸插補運動形成的圓形軌跡，并將這一軌跡與標準圓形軌跡進行比較，從而評價機床產生誤差的種類和幅值。

MT21無線球桿儀

MT21無線球桿儀評定機床

激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標準處理數據并輸出誤差曲線，為數控機床的誤差，修正提供可靠依據，現場使用尤其方便。配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差，是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。